首个半导体薄膜设备生产基地在沈投入使用

日前

，沈阳拓荆科技有限公司对外称，在国家大基金、国家科技部重大专项以及省市区三级政府的大力支持下，沈阳拓荆科技有限公司投资兴建的新厂区正式投入使用。该基地是目前国内首个半导体薄膜设备产业化基地，仅用一年零三个月就完成了项目建设。新厂区占地80亩，总建筑面积40000平方米，拥有十级、百级、千级洁净厂房共计2800平方米。该公司相关负责人介绍，该基地一期可实现年产100台套产品能力，二期投产后，该公司产能将达到年产350台套，同时，可支撑年产值达50亿元的生产规模，该基地的成功投入使用，将对沈阳制造迈向中高端起到拉动作用。